主要性能要求：1.极低的蒸气压。2.合l适的粘度和良好的粘温特性。3.良好的热氧化安定性。4.良好的抗腐蚀性和抗乳化性。5.较高的闪点。6.较低的极限压力。

良好的热氧化安定性。真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的热氧化安定性。

良好的抗腐蚀性和抗乳化性。真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件；吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀，所以要求具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。

极低的蒸气压。这是真空泵油的最重要的性能，由于真空泵要求真空度很高，一般用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。较高的闪点。主要要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。